MC-100SC-D-安徽晶圆测试用气体质量流量控制器-北京芯笙微纳电子科技有限公司手机版

产品简介

安徽晶圆测试用气体质量流量控制器专为精密超低流量和高压应用而定制。 CODA 质量流量控制器与各种液体和气体（包括许多腐蚀性物质）兼容，即使在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速的工况时，也能为您提供高精确度测量和控制。

详细介绍

安徽晶圆测试用气体质量流量控制器 Alicat CODA KCO 系列科里奥利质量流量控制器专为精密超低流量和高压应用而定制。 CODA 质量流量控制器与各种液体和气体（包括许多腐蚀性物质）兼容，即使在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速的工况时，也能为您提供高精确度测量和控制。

组成独立 - 即使流体成分发生变化或未知，科里奥利技术也能提供高精度读数。
准确性高 - NIST 可追溯精度达读数的 ±0.6%，重复精度达读数的 ±0.1%，适用于精度要求较低的应用。
兼容性强 - 提供与各种腐蚀性气体和液体兼容的接液材料。
抗干扰 - 对外部振动的固有阻力减轻了环境过程干扰。

购买时附带的配件

FlowVision 软件（免费下载）

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设备规格和定制选项

Quick Specs

安徽晶圆测试用气体质量流量控制器 系列参数

量程范围：40 g/h 至 100 kg/h
测量范围：5% –100 F.S.
精度，NIST 可溯源（液体）：读数的 ±0.6% 或 ±0.2% F.S.，以较大者为准
精度，NIST 可溯源（气体）：读数的 ±1% 或 ±0.2% F.S.，以较大者为准
重复性：±0.1% F.S.
密度精度: ± 5 kg/m³
零位稳定性：±0.2% F.S.
响应时间：<1 s

安徽晶圆测试用气体质量流量控制器 系列操作条件

工作温度：–35 至 70°C（流体）； 0 至 60°C（环境）；咨询 Alicat 了解更多选项
耐压：1500 PSIA 大部分单位； 40 g/h 单位为 200 PSIA；可选 4000 PSIA，≥100 g/h

设备范围和完整规格

设备的定制范围从 40 g/h 满量程到 100 kg/h 满量程，可测量范围为满量程的 5 到 100。

有关所有设备的规格，请参阅 CODA KCO 系列设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读 CODA 仪表操作手册。

设备自定义选项

组成和性能选项

通讯协议：模拟、RS-232, RS-485, Modbus RTU, EtherCAT, EtherNet/IP
接液材料：

标准：316L不锈钢和FKM
可选：FFKM、EPDM、PCTFE、316L不锈钢金属密封件；镍合金

防护等级：IP40或 IP67

访问设备定制页面

可选配件

配件||分开售卖

外接显示屏
电气连接电缆