型号：FFD-系列

说明：应用广泛的FFD系列复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成，从而提高了泵的抽速，高压缩比，低噪音，清洁无油，节能

FFD系列复合分子泵

新产品介绍：

1. 多角度安装。

2. 高级限真空。

3. 大抽速：复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成，从而提高了泵的抽速。

4. 高压缩比：转子*的螺旋槽式牵引级使泵具有高的压缩比和耐粉尘能力。

5. 低噪音：采用高精度球轴承，动平衡好，对轴承的磨损小，轴承寿命长，整机振动小，噪音低。

6. 清洁无油：分子泵是靠动叶片和定叶片相对运动抽除、拖动、传输气体分子排出，因此可获得清洁无油的高真空和超高真空。

7. 节能：由于整体转子比分体转子轻，因此电机负载小，消耗功率小，可以运行更高的转速。

8. FF型复合分子泵广泛应用于光谱仪器、电子显微镜、检漏仪、表面物理和分析仪器、质谱仪、真空镀膜行业、显像管生产、半导体制造业、等离子刻蚀等领域。

主要技术参数：

型号：            FFD-800        FFD-1300       FFD-1800

进气口通径：      DN160mm      DN200mm      DN250mm

排气口通径：      KF40mm       KF40mm       KF40mm

抽气速率：        800L/s         1300L/s        1800L/s

极限压力：          5x10-7 Pa (金属密封)；5x10-6 Pa (橡胶密封)

压缩比：                   N2 : 108 ；H2 : 4x103

电机转速：        36000r/min     24000r/min      24000r/min

启动时间：        < 7min          < 7min         < 7min

冷却方式：         水冷          水冷            水冷

冷却水温：        < 24 C          < 24 C          < 24 C

安装位置：          任意           任意          任意