型号：GMG-210B

说明：10kW/2450MHz 高稳定微波功率源

1. GMG-210B/C型微波源概述

GMG-210B/C型高稳定程控微波源采用智能芯片控制，用户通过设置参数后，系统控制由智能芯片完成，控制精度高、稳定性好、操作简单。系统采用联锁控制方式，能有效地防止误操作，对水、温度、市电等条件异常时有完善的保障系统，确保正常、安全工作。系统还提供外接联锁控制保护接口，保护操作人员和负载安全。系统采用控制柜与功率头分离结构，方便用户连接不同类型的微波工作室（或腔体）。

GMG-210B型高稳定程控微波源，采用旋钮和按键方式操控开机、关机和微波功率设定，控制面板设有微波功率输出显示表头和微波反射功率显示表头，操作简便，系统工作状态一目了然。

GMG-210C型高稳定程控微波源采用触摸屏控制方式，为用户提供两种操控模式，即简易操作模式和用户编程操作模式。

GMG-210B/C型高稳定程控微波源适合与微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统、微波等离子镀膜系统、微波ECR系统、微波等离子源系统、微波精细陶瓷烧结系统等配套，为不同的微波反应腔体提供精确、稳定的微波功率源。

2. GMG-210B/C型 微波源系统组成及技术指标

2.1. 系统组成：为方便连接各种不同类型的波导系统，本微波源将微波功率头从控制柜中分离出来，既方便波导连接，也便于安装操作。

⑴ 微波功率头：采用微波磁控管规格型号为国产CK-2091 10kw/2450MHz±5MHz作为功率源，输出功率为10KW。如图2.1所示。

⑵ 控制系统：采用智能芯片编程控制，可控制微波输出功率。采用了安全保护系统，保证系统正常、安全地工作。提供负载联锁保护接口，能有效地防止误操作，保护操作人员。