Alicat MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器

简单升级老化的热式流量控制器

Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

Alicat MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

艾里卡特Alicat提供*的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。

性能

可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦气）

无需预热时间

工作条件

兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

耐受压力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包装清单：

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）

NIST可溯源校准证书

艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

过程端口接头和过滤器

电源

通讯线缆和转换线缆

BB3和BB9多点式集线盒

Flow Vision软件