玻璃真空吸盘，可定制玻璃内部管道

图1 晶圆真空吸盘

玻璃真空吸盘（Vacuum Chunk）特别适用于晶元半导体行业，其又被称为晶元吸盘、零膨胀玻璃真空吸盘、定制真空吸盘或晶元真空吸盘。这种新型晶元吸盘主要应用在晶元设备上，通过在零膨胀玻璃吸盘内部挖出通孔，当吸盘通孔内的空气被真空泵抽走时，内部形成真空状态，吸盘唇和被吸附的物体表面之间的压强变大，从而产生吸力，即利用内外压强差吸附在物体表面上。

该定制真空吸盘使用零膨胀玻璃，这种材质是一种具备特殊性能的玻璃，高稳定性、高尺寸稳定性、低导热率以及高耐腐蚀性的是它的主要优势，但它同时会比传统玻璃的造价高昂，工艺水平的要求则要更为。

我们具有强大的光学加工能力，能提供定制玻璃真空吸盘，定制晶元真空吸盘或晶圆真空吸盘，包括玻璃的形状尺寸、吸嘴的位置、内部管道的走向，同事具备批量化的加工能力，满足用户的各类应用需求。