支持所有高分辨率显微镜的高性能P200L半自动探针平台系统

美国Micromanipulator的P200L半自动探针平台是专门为低电流、亚微米级定位应用而设计的。P200L半自动探针台的标准配置是单点接地和集成热冷管道。P200L半自动显微镜探针平台具有高精度和高分辨率，并且采用的是丝杆-丝杆螺母和平台驱动，其中平台是由不锈钢制成的并且带有可拆卸前楔和高稳定性的显微镜支撑架，能够支持所有高分辨率显微镜。

P200L半自动显微镜探针平台系统的多功能控制器支持USB、GPIB、RS-232和TCP/IP通信（通过要求进行合适的选择）。P200L半自动显微镜探针平台系统的XYZ平台可以通过操作器控制电机驱动或者电脑编程软件控制，显微镜控制也可以选择操作器控制电机驱动或者电脑编程软件控制，不仅如此，该系统还可以通过脚本和目前流行的探针台驱动程序进行兼容，这是因为厂家提供了一个带有用户GUI的索引脚本和一个Labview VI使用户可以直接使用该系统。除此之外，电脑编程软件控制的还可以通过可选的netProbe7软件进行控制，netProbe7软件具有广泛的GUI，包括导航、晶圆图和视频应用程序以及用于GPIB连接的路由器应用程序（注意：netProbe7软件需要单独购买）。

P200L半自动探针台可以配置干燥/EMF屏蔽/黑暗的环境满足低电平或低温探针的测试。P200L型号半自动探针台的高效和坚固可靠性结合其相对低价格的优势，使其成为一种真正具有成本效益的200 mm半自动探针台的理想选择。

半自动探针平台P200L的规格参数：          

- 设备占地面积为22.75英寸 x 23.35英寸（57.5 x 59.3厘米）

- 探针台的宽度、深度、高度为28.5英寸 x 26.75英寸 x 21.5英寸（72.5 x 68.0 x 55.0厘米），重量为250磅（115公斤）

- 台面行程范围：200 x 200 x 25 mm（X-Y-Z），支持测量高达200 mm直径的晶圆/样品

- 探针台分辨率为0.5 um，精度为±5 um，重复性精度为正负2 um

- 不锈钢/磁性台面，4电机驱动/可编程的1 um分辨率螺旋丝杆驱动，±1 um的重复性精度

- 标准的0.7 um分辨率和15度范围的手动Theta控制，可选电动驱动/可编程Theta驱动

- 手动显微镜行程范围：100 x 100 x 50 mm（X-Y-Z），配备有32 mm的Z轴机械定位，可选电动驱动/可编程显微镜驱动

- 提供全面的配件和选型，包括：独立的显微镜升降（可调节显微镜升降延迟）、集成干燥/黑暗/EMF屏蔽/低温环境、探针卡座、光隔离模块、热夹具、手动/电动操作器

P200L半自动探针平台的特点：

- 高稳定性加工基座和显微镜支撑架支持所有高分辨率显微镜的小目标探测

- 不锈钢平台支持真空或磁性底座操作器

- 可拆卸的前楔提供了额外的空间放置操作器，并且是配置为局部干燥/黑暗环境时的进入口

- 可以通过操作器控制平台和可选的显微镜的XYZ三轴驱动

- 人体工学、直观、紧凑的设计提高了使用便利性，同时增加了稳定性

- 紧凑的占地面积，能够有效利用实验室空间