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可升级450 PM手动探针平台,6-8英寸晶圆测量
450PM手动探针平台技术规格:
450PM 手动探针平台整体尺寸 | ||
设备占地面积(宽度 x 深度) | 22.75 x 23.35英寸(57.7 x 59.3 cm ) | |
探针台尺寸(宽度x深度x高度) | 28.5 x 26.75 x 21.5英寸(72.3 x 67.9 x 54.6 cm ) | |
探针台重量 | 191磅(86.6 kg ) | |
X-Y平台移动 | ||
行程 | 8 x 8英寸(200 x 200 mm ),手动控制 | |
分辨率 | 1 um per degree | |
显微镜 | ||
精细聚焦控制精度 | 1英寸(25.4 mm ) | |
行程(X-Y) | 8X8英寸(200X200 mm ) | |
铝压板 | ||
450PM-A | Z轴行程 | 1英寸(25.4 mm ) |
分辨率 | 40 um(0.0015英寸)/转 | |
450PM-B | 固定铝压板 |
450PM手动探针平台为您提供了一个具有成本效益的拥有Micromanipulator品牌较高性能探针平台的选择,450PM正在成为范围内测试实验室选择的手动探针平台。
美国 Micromanipulator 设计的450PM 8英寸晶圆探针平台通过其较低的成本和稳定可靠的探测性能来体现自己的价值的。450PM手动探针平台的设计是基于 Micromanipulator 旗下较受欢迎的4060手动探针平台,450PM手动真空探针系统具有有广泛的应用范围和灵活的应用的设置,是可进行6-8英寸晶圆检测的 Micromanipulator真空探针台。
客户希望 Micromanipulator真空探针台保持品牌一贯的开放、灵活的系统设计,使450PM手动真空探针系统在提供测量稳定性的同时,支持与其他探针、探针卡、微操纵器等精确、可靠的机械装置结合使用。450PM手动8英寸晶圆探针平台在继承这一传统的基础上为那些不需要探针平台具有低电流使用能力和精确定位能力的客户提供了一种更加经济的进行6-8英寸晶圆检测的紧凑型手动探针平台的选择。同时450PM手动探针平台还加上了一些 Micromanipulator 品牌中销量较好的4000和8000系列探针平台上一些便利功能。
450PM手动真空探针系统为日常分析测量提供了一个高性能的紧凑型手动探针平台解决方案,并提供丰富的配件选择,以便根据您的具体需要配置450PM手动真空探针系统来进行6-8英寸晶圆检测。探针卡座、热压版、 操纵器、的探针支架、隔震台、显微镜及其配套的摄像系统等都是常用的配置选项。
450PM手动探针平台
450PM手动8英寸晶圆探针平台的特点和便利性:
-较高寿命的手动螺杆控制平台;稳定、高效的定位
-可用于直流、射频、微波和高功率应用
-450PM-A型号上提供螺杆控制的压盘,用于探针卡的固定。
-手动压板是带有锁扣的,可以进行θ旋转
-手动 X-Y 轴定位可满足精确聚焦的要求以配合稳定吊杆上的立体变焦复合显微镜使用。
-符合人体工学的紧凑设计提高了使用便利性,同时增加了稳定性
-紧凑型手动探针平台的设计减小了设备占地面积,能够有效利用实验室空间
-大型铝压板允许操作员选择合适的位置使用微操纵器
-8英寸(200 mm )的常温真空压板,具有全晶圆覆盖级尺寸的行程
-可选配冷/热夹具、热压板、内部电缆、软管等组件,在探针平台的后部有终端方便进行操作。
-可升级的设计方便450PM手动探针平台与其他探针、微操纵器等机械设备结合使用
450PM可升级手动探针平台常见的升级选择:
-更高分辨率光学元件
-更高准确度的光学定位器件
-可选配热压板,温度可提升到400 °C
-升级的探针卡硬件
-其他效率提升的因素
450PM手动真空探针系统可选配件信息:
-微操纵器:110/210系列;525系列
-热压板:H1000系列热压版
-显微镜:复合显微镜
-防止光线入射的外壳
-视频拍摄设备