可断电使用的高稳定性机械式大口径变形镜

自2003年以来，它们被CEA成功地测试出了兆焦耳激光，并取代了压电技术。自2007年以来，ISP系统已经安装了几十个使用微型驱动器的MD-AME可变形反射镜。其主要特点是不存在“print-through”效应，运动线性度高，迟滞率低，在不加电源的情况下具有稳定性。ISP系统专业从事精密工程、光学力学和机电一体化等领域，ISP为激光系统和同步变色器开发了带有机电驱动器和定位器的ISP机械式变形镜。

ISP可变形反射镜具有动态校正范围大、维护方便、涂层选择方便、易于对大口径激光束扩展、抗电磁脉冲等优点。它们与高真空兼容，并提出了一种低放气版本，适用于可变形反射镜位于靠近压缩光栅的场合。该设计允许在涂层损坏的情况下很容易地更换涂层。一个主动冷却版本可用于连续激光器的功率高达30千瓦。

ISP机械式变形镜（Md-AME）特点：

-最初的技术集中于激光技术人员的需求

-纳米精度波前校正

-对激光束无网格效应

-工作瞳孔：从Ø22mm到Ø800mm，圆形或方形，任何入射角

-低滞后 (< 0.1%)

-良好的线性度(>99%)

-尺寸范围很广，从22毫米到800毫米不等

-控制架

-通过LASQUA集团提供自适应光学回路

-与任何波前分析仪和波前校正软件的接口

ISP机械式变形镜（Md-AME）兼容性：

      -主动或被动冷却

      -执行器数量

      - Zernike模式动力学和可实现的阶数

      - 孔径大小和入射角

      - 控制策略

      - 环境兼容性（嵌入式、空间等）

      - 软件环境（Windows、Linux 等）

      - 光学表面涂层（波长、损伤阈值、反射率……）

ISP机械式变形镜（MD-AME Space）特点：

-空间应用中的波前校正

-提高空间望远镜成像质量

-低滞后

-极低能耗

-低压电源：24V

-低滞后（< 0.1%）

空间变形镜（MD-AME Space）MD85-C-31-SPACE特点：

    -工作瞳孔：直径 85 mm

-金属涂层

-31个执行器 (μ-AME12-Space)

- Zernike order 4

-尺寸Ø180 x 100mm（不包括连接器）

-重量 4kg

MIRISP机械式变形镜（红外激光应用）特点：

-微力致动器校正的像差

-对激光束无网格效应

-良好的线性度(<99%)

-高稳定性，不含能量

-长期稳定及不包括电力供应

-滞后比压电致动器低(＜0.1%)

-控制架

-工作瞳孔：椭圆形 40 x 57 mm

-镀金 (R > 98% @ λ = 10 µm)

-传导散热2W

-25个执行器

-Zernike ordre 3（不包括活塞）

-尺寸 W 150 x H 110 x D 180（不包括连接器）

-重量 5kg

ISP机械式变形镜ILAO（强激光自适应光学）特点：

-技术

-与ImageOptic合作开发

-高光学质量的镜面 (<10 nm rms)

-配备微力执行器(AME)网络：37个或52个执行单元

-滞后比压电致动器低(0.1%而不是10%)

-接触表面力的均匀分布

-在镜子上没有摩擦力或指纹效应

-长期稳定性

-有多种型号，多种尺寸等。

ISP机械式变形镜ILAO（强激光自适应光学）规格：