F-P干涉仪的结构是由两片半透明高电阻率的硅平面组成，其中一片安装在电机驱动线形驱动器上，与常规的平面窗镜相比，具有更好的平整度和平行度，精度更高。THz辐射参数的测量通过可移动镜片的平移（扫描）来实现。THz Fabry-Perot Etalon干涉仪（THz F-P）的主要作用是测量窄带THz辐射的波长和强度，THz波的类型可以脉冲活连续窄带。

一套完整的F-P干涉仪包括以下部分：TFPE干涉仪单元，供电和控制单元，镜片位移控制软件，连接线，使用说明

差频THz产生器

混频THz产生器

新型THz辐射源

振动陀螺仪

光学泵浦亚毫米波激光器

反响波振荡器

自由电子激光器

量子级联激光器

p-Ge激光器

F-P干涉仪还可以用于测量宽带THz源的波长和强度，每个F-P干涉仪透过光谱过滤THz辐射 TFPE支持很多镜片移动模式，例如移动到位置，移动到举例，连续和周期移动。镜片移动速度，移动间隔，开始和结束位置等都可调。

F-P干涉仪参数：

主要特点：

大口径52mm

高镜片位置精度±1.25μm

宽工作范围0.1-15THz

高击穿阈值

光声Golay探测器GC-1P/T/D

0.1-15THz之间波长

LPF（短波通滤光片）滤除IR辐射，截止频率为23.4THz，23.3THz，23.1THz，14.3THz，10.9THz，8.8THz，5.5THz，4.3THz，4THz，3.2THz。

一套衰减器具有1%，3%，10%，30%透过率

TPX和HRFZ-Si透镜

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