DOE掩膜

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2021-03-05 12:20:51
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深圳维尔克斯光电有限公司

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产品简介

DOE掩膜,主要用于精密的控制大功率激光的孔径,它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄(~1μm)的图案反射涂层。

详细介绍

DOE掩膜,可消除不需要的高衍射级次光学

 

DOE掩膜

DOE掩膜,主要用于精密的控制大功率激光的孔径,它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄(~1μm)的图案反射涂层。

DOE掩膜的典型参数

外直径

5 - 100 mm

孔的形状

圆形、方形、 多孔径,其他

孔径尺寸

10 um - 60 mm

波长范围

193 - 11000 nm

Transfer Region

Small; sharp edges

SNR

~500

Shape size

>5 um

 

衍射高级次消去膜通常分为两种不同类型的掩膜

 

一种是电介质反射掩膜

电介质反射掩模,英文名为DielectricReflective Mask,是在熔融石英的基底上,镀一层由非常薄(〜1um)的反射涂层图案。涂层部分反射入射光束,而未涂层部分透射光束。

 

电介质反射掩膜的特性:

针对单波长设计,高损伤阈值,低吸收率

反射部分,> 99%的高反射率

透明部分,> 95%的高透射率

很薄的掩膜层(~1um)

 

另一种是透射成像掩模

透射成像掩膜,英文名为TransmissiveImaging Mask,透射式掩模的特点是透射全部入射光,没有任何阻挡,透射掩模使用衍射图案以大角度漫射不需要的波段。

它的工作原理如下:

       中心有一个和反射式掩膜类似的透明区域,光线直接透过,周围区域具有衍射图案,使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦镜后焦平面放置的小孔,就可以阻挡大部分漫射光,从而达到阻挡多余激光的效果。

 

透射掩膜的特点:

不会有反射光的风险,导致损坏光学系统

~100%传输效率

比反射式掩模更高的激光损伤阈值

价格实惠

 

DOE掩膜的应用领域:

缩减传输区域,设置一个很小的传输区域

控制激光衍射图案的大小

 

DOE掩膜的型号规格:

型号

直径 (mm)

孔径尺寸(um)

孔径形状

材质

DM-017

85

50075

Square

熔融石英

DM-010

25.4

5680

Round

熔融石英

DM-004

25.4

1750

Square

熔融石英

DM-009

25.4

6200

Round

熔融石英

DM-019

25.4

300

Square

熔融石英

DM-007

25.4

10838

Round

熔融石英

DM-006

25.4

7000

Square

熔融石英

DM-005

25.4

3500

Square

熔融石英

DM-008

20

8428

Round

熔融石英

DM-016

11

5400

Round

熔融石英

DM-015

11

3000

Round

熔融石英

DM-014

11

4214.9

Round

熔融石英

DM-013

11

2408

Round

熔融石英

DM-012

11

3612

Round

熔融石英

DM-011

11

4817

Round

熔融石英

DM-003

11

165

Square

熔融石英

DM-002

11

65

Square

熔融石英

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