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台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM),又俗称“桌上型扫描电镜”或“Mini SEM”,相较于传统大型SEM(落地式),台式SEM具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势,而且它的放大倍数可高达100,000倍以上。此类新型仪器的出现光学显微镜与落地式SEM之间的空白区域,可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
组成:
真空系统:一般采用机械泵与分子泵联动
电子枪:一般为CeB6( 六硼化铈)或钨灯丝,其中钨灯丝的寿命较短,仅为40-100小时,需频繁更换,CeB6灯丝寿命超过1500小时,且亮度更高。目前尚没有采用 场发射(Field Emission)的台式扫描电镜。
电磁透镜
探测器: 背散射电子或二次电子探测器,可选配EDS
特点:
放大倍数高(相对光学显微镜)
成像速度快
大景深
体积小巧
操作简便
价格便宜
应用:
台式扫描电镜可以满足绝大多数传统SEM用户的需求,其应用领域极其广泛,包括:粉末、金相、制药、造纸、半导体、微电子、生命科学 ……