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从毫米到纳米的超大范围观察和自由切换测量的多种显微观测模式
OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光共聚焦显微镜(LSM)以及原子力显微镜(AFM)功能的一体机。OLS4500可以满足不同样品的观测需求,是一台新时代的观察、测量装置。
OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量,放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标(观察对象)后,您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和原子力显微镜模式之间自由切换,而不用担心目标丢失。并且您可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察,大大缩短了获取影像的时间。这些便是OLS4500一体机的自由操作带给您的益处。
更加方便、更加顺利地完成超大范围观察和测量。
实现了自由切换操作的LEXT OLS4500,闪亮登场。
OLS4500的显微技术
明视场观察 可以获取颜色信息(纸张上的墨点)
♦ 激光显微镜的原理和特长
可进行亚微米级观察和测量的激光显微镜(LSM: Laser Scanning Microscope)
光学显微镜的平面分辨率很大程度取决于光的光子和波长,采用短波长的激光显微镜(LSM) 比采用可见光的传统显微镜,拥有更高的平面分辨率。
OLS4500采用405nm的短波长半导体激光、高数值孔径的专用物镜、以及的共焦光学系统,可以达到0.12µm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奥林巴斯的扫描加扫描型2D扫描仪,可以实现高达4096×4096像素的高精度XY扫描。
的Z轴测量
激光显微镜采用短波长半导体激光和的双共焦光学系统,会删除未聚焦区域的信号,只将聚焦范围内的反射光检测为同一高度。同时结合高精度的光栅读取能力,可以生成高画质的影像,实现精确的3D测量。
高度的测量(微透镜)
♦ 原子力显微镜的原理和特长
可以观察纳米级微观世界的探针显微镜(SPM: Scanning Probe Microscope)
探针显微镜(SPM)是通过机械式地用探针在样品表面移动,检测出探针与样品之间产生的力、电的相互作用,同时进行扫描,从而得到样品影像。探针曲率半径为10nm左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜(AFM:Atomic Force Microscope),它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌,可以捕捉到样品细的一面。
通过微悬臂扫描进行纳米级观察
OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量(位移)来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光,并用压电元件驱动Z轴,使激光照射到光电检测器的位置,从而正确读取Z方向的微小位移。
SPM传感器光路图
多种观察模式在影像中呈现表面形状和物性
探针显微镜拥有多种观察模式,可以观察、测量样品表面的形状,还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。
*该模式为选项功能。
决定高精细度、高质量影像的微悬臂
探针位于长度约100µm~200µm的薄片状微悬臂的前端。您可以根据样品选择不同的弹簧常数、共振频率。反复扫描会磨损探针,所以请根据需要定期更换微悬探针。