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原子力显微镜（AFM）是在样品表面用微小的探针进行扫描，通过高倍率观察三维形貌和局部物理特性的显微镜总称。SPM-9700HT更是性能高、速度快、操作简单的新一代扫描探针显微镜。
超微小硬度计复合型SPM系统SPM+TriboScope（TriboScope为美国Hysitron公司产品） 可以进行极薄膜的硬度试验和压痕试验。 微小部热分析试验仪器复合型SPM系统 SPM+nano-TA2（nano-TA2为Anasys Instruments公司产品）可以进行样品表面的三维形貌观察和点的热分析。
