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仪器简介：日本精工膜厚仪SFT-9500系列
SFT9500的X射线发生系统是X射线聚光系统（聚光导管）与X射线源相结合，产生束斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。 所以SFT9500可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插头、柔性线路板等微小零件及薄膜进行测量。同时，SFT9500采用了高计数率、高分辨率的半导体检测器（无需液氮），在测量镀膜厚度的同时，对于欧盟的RoHS&ELV法规所限制的有害元素的分析测量也十分有效。
技术参数日本精工膜厚仪SFT-9500系列
序 号 | 项 目 | 参 数 |
1 | 可测量元素 | 原子序数13(Al)～83(Bi) |
2 | 聚光方式 | X射线聚光 |
3 | X射线源 | 管电压：50kV |
4 | 检测器 | Vortex®检测器(无需液氮) |
5 | 分析范围 | Φ0.1mm、Φ5mm |
6 | 样品观察 | 彩色CCD摄像头（附变焦功能） |
7 | 滤波器 | 3种模式自动切换 |
8 | 样品室 | 样品平台 240(W)×330(D)mm |
9 | 重 量 | 123kg(不含电脑) |
10 | X-ray Station | 台式电脑 19"LCD(OS; MS-Windows XP®) |
11 | 膜厚测量软件 | 薄膜FP法（多五层，各层十种元素） |
12 | 定量分析功能 | 块体FP法 |
13 | 统计处理功能 | MS-EXCEL®、 MS-WORD® |
14 | 安装环境 | 温度：10℃～35℃(±)5℃ |
15 | 电 源 | 接地三头插座 AC100、15A |
主要特点：
★ X射线发生系统采用了聚光导管
由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。
★ 无需液氮的半导体检测器
在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是*的。SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。
★ 能谱匹配软件（选配件）
可瞬间识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。对识别材料十分有效。
★ 块体检量线软件（适用于电镀液分析） （选配件）
可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。
★ 绘图软件（选配件）
将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。
★ 电镀液容器（选配件）
★ 各种标准物质（选配件）
