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仪器简介：日本精工膜厚仪SFT-9400系列
SFT9000系列中高级的机型「SFT9400系列」
搭载有75W高功率X射线管与双检测器(半导体检测器+比例计数管)，能满足“薄膜镀层”、“合金镀层”、“超微小面积测量”等镀层厚度测量需求的高性能镀层厚度测量仪。
此外，SFT9400系列还在测量镀层厚度的基础上，新增了可对不同被测物体积材料进行定性分析和成分分析的功能。
技术参数日本精工膜厚仪SFT-9400系列
序号 | 项 目 | 参 数 |
1 | 可测量元素 | 原子序数22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射线源 | 小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶) |
3 | 滤波器 | 一次滤波器：Mo |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 检测器 | 比例计数管+半导体检测(无需液氮) |
6 | 准直器 | 圆形：Φ0.015mm Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm |
7 | 安全性能 | 样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能 |
8 | 样品图像对焦方式 | 激光自动对焦 |
9 | 样品观察 | 彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明 |
10 | 样品平台大小及承重 | SFT9400:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9450:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9455:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重量 | SFT9400/SFT9450:125kg (不含电脑) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知样品修正、人工输入修正 |
13 | 测量报告书制作 | 配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书) 测量能谱与样品图像保存功能 |
主要特点：
1. 搭载有高功率X射线管及双检测器(半导体检测器+比例计数管)
可对应组合复杂的应用程序，特别是可识别Ni和Cu之类能量较为接近的元素。
能够对Ni/Cu和Au/Ni/Cu在不使用二次滤波器的情况下进行测量
对于含Br的电路板，可以不受Br的干扰对Au的镀层厚度进行高精度的测量
可测量0.01μm以下的超薄的Au镀层厚度
2. 搭载块体FP发软件和薄膜FP法软件
对应含铅的合金镀膜和多层镀膜等，适用于广泛的运用领域
3. 适用超微小面积的测量
标准配备的15μmΦ的准直器，可对超微小面积进行测量。
4. 搭载了可3段切换的变焦距光学系统
5. 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板(SFT9455)
6. 自动对焦功能
配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。
7. 搭载测试报告自动生成软件
