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仪器简介：日本精工膜厚仪SFT-9300系列
为了满足测量微小区域及高精度的需求，安装了“SFT”优秀的75W高功率X射线管。
快速的对应日益微小化的电子产品，更扩大了X射线荧光镀层厚度测量仪的应用。
技术参数日本精工膜厚仪SFT-9300系列
序号 | 项 目 | 参 数 |
1 | 可测量元素 | 原子序数22(Ti)～83(Bi) |
2 | X射线源 | 小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶) |
3 | 滤波器 | 一次滤波器：Mo 二次滤波器：Co (自动切换) |
4 | 照射方式 | 上方垂直照射方式 |
5 | 检测器 | 比例计数管 |
6 | 准直器 | 方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm |
7 | 安全性能 | 样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能 |
8 | 样品图像对焦方式 | 激光自动对焦 |
9 | 样品观察 | 彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明 |
10 | 样品平台大小及重量 | SFT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg SFT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg SFT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg |
11 | 重 量 | SFT9300/SFT9350:125kg (不含电脑)SFT9355:130kg(不含电脑) |
12 | 修正功能 | 底材修正、已知样品修正、人工输入修正 |
13 | 测量报告书制作 | 配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书) 测量能谱与样品图像保存功能 |
主要特点：
1.75W高功率X射线管
能够提高X射线的生产效率，实现高精度的测量，有效缩短测量时间，只需过去的1/4
2.超微小型准直器
除了搭载了标准配置的50μm准直器，还配备了测量微小部位用的15μm准直器
对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸，可以显示在样品画面上
3.倍率式光学系
可以准确地对微小部分进行对焦，还可以对应各测量点间有高低的样品
4.实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量
5.拥有防冲功能
6.搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板(SFT9355)
7.自动对焦功能
配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。
8.即时生成测量报告的便捷性
运用搭载的Microsoft Word® Excel® 可以简单轻松得到制作报告。
9.搭载了高功率X射线管
10.拥有自动测量软件以及中心搜索软件
11.搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件
(1).可实现高精度几高效率的微小样品检测小样品尺寸直径3.5um
(2).容易决定微小测量部位
(3).影像对焦系统
(4).凹凸样品的凹下部位的测量
(5).再现性佳
