KJ-T1600 CVD-1600 CVD 系统-郑州科佳电炉有限公司手机版

详细介绍

产品介绍：
KJ-CVD 是一种分体式管式炉，配备 60mm 直径的石英管、真空泵和四通道质量流量计气体流动系统。可混合1-6种气体进行CVD。

应用范围：
此款CVD生长系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

技术参数：

产品名称		1600 CVD 系统
产品型号		KJ-T1600 CVD
部分：标准部分
管式炉	显示	LED
	炉体	分体式和上部可以打开
	温度	1600℃
	工作温度	≤1500℃
	升温速率	0~10℃/min
	温区	300mm
	加热元件	MoSi2加热元件
	热电偶	B 型
	温度控制精度	±1℃
	炉管	80 x 1000mm (OD x minimum L)
	炉管	材质：高纯氧化铝管
	温度控制	通过可控硅功率控制进行PID自动控制
	加热曲线	30 步可编程
	真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰
	电压与功率	220V, 50 Hz, 单相 4KW
真空泵系统	旋片真空泵+扩散真空泵	真空泵组：极限真空10-6 Torr。旋片真空泵和扩散真空泵将设计成推车带轮子。
质量流量计	四个精密质量流量计：底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装6个不锈钢针阀，手动控制6种气体混合

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务，包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。

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