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二维模块式工作台采用模块化设计,可将一维微动台通过对应的连接板自由组合成具有沿X轴方向和Y轴方向运动的微动台,行程从10μm至200μm。二维模块式工作台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制,并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台
主要参数
运动自由度 | 位移量 (μm±10%) | 组成模块 | 尺寸 A(mm) | 尺寸 B(mm) | 尺寸 C(mm) | |
MPT-2MNL010 | X 、 Y | 10×10 | MPT-1DNL010 | 60 | 50 | 51 |
MPT-2MNL025 | X 、 Y | 25×25 | MPT-1DNL025 | 80 | 70 | 54 |
MPT-2MNL050 | X 、 Y | 50×50 | MPT-1ANL050 | 100 | 90 | 58 |
MPT-2MNL100 | X 、 Y | 100×100 | MPT-1ANL100 | 120 | 110 | 54 |
MPT-2MNL200 | X 、 Y | 200×200 | MPT-1ANL200 | 150 | 140 | 54 |
MPT-2MRL010 | X 、 Y | 10×10 | MPT-1DRL010 | 60 | 50 | 51 |
MPT-2MRL025 | X 、 Y | 25×25 | MPT-1DRL025 | 80 | 70 | 54 |
MPT-2MRL050 | X 、 Y | 50×50 | MPT-1DRL050 | 100 | 90 | 58 |
MPT-2MRL100 | X 、 Y | 100×100 | MPT-1ARL100 | 120 | 110 | 54 |
MPT-2MRL200 | X 、 Y | 200×200 | MPT-1ARL200 | 150 | 140 | 54 |
开环工作台*匹配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台*匹配电源型号:PPC-2CR0150