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二维集成式工作台通过柔性铰链机构对压电陶瓷进行直接放大驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向和Y轴方向的二维运动，行程从10μm至200μm。二维集成式工作台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台
主要参数
| MPT-2JN/RL010 | MPT-2JN/RL025 | MPT-2JN/RL050 | MPT-2JN/RL100 | MPT-2JN/RL200 | |
| 运动自由度 | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y |
| 行程范围 (μm±10%) | 10X10 | 25X25 | 50X50 | 100X100 | 200X200 |
| 位移分辨率 (nm) | 1 | 2.5 | 5 | 10 | 20 |
| 重复定位精度 (nm) | -/10 | -/25 | -/50 | -/100 | -/200 |
| 运动方向大推力 (N) | 1000 | 1000 | 1000 | 300 | 300 |
| 运动方向大拉力 (N) | 200 | 250 | 250 | 45 | 50 |
| 大负载 (Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 固有频率 (Hz) | 750 | 500 | 400 | 200 | 140 |
| 重量 (g±5%) | 300 | 400 | 800 | 950 | 1300 |
| 工作电压 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B (mm) | 100×100 | 140×106 | 170×120 | 150×150 | 170×170 |
| 外型尺寸 C×D (mm) | 84×84 | 124×90 | 148×104 | 140×140 | 160×160 |
| 运动部分 K×L (mm) | 20×23.5 | 21×24.5 | 23×26.5 | 21×24.5 | 21×24.5 |
| 运动部分 E×F (mm) | 40×40 | 55×55 | 70×70 | 45×45 | 50×50 |
| 运动部分 H×I (mm) | 30×30 | 45×45 | 60×60 | 35×35 | 40×40 |
| 运动部分 G1×G2 (mm) | 40×40 | 53×53 | 60×60 | 80×80 | 90×90 |
| 安装尺寸 M×N (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 5.5×10 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安装尺寸 J | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
开环工作台*匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台*匹配电源型号：PPC-2CR0150
