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莱峰流体
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等离子体是电子,离子等带电粒子,中性粒子,原子,分子和微粒。自由基以及紫外线等高能量物质等组成的准中性且具有集体效应的混合气体,而等离子体流动控制设备采用质量流量控制法对等离子体进行气体流量、密度、温度、压力的控制。
特点
等离子体流动控制设备可靠性高、重复性高。
宽范围的参数调节范围,可使用多种气体,实现范围的参数选择。
手自一体控制模式,方便操作。
PLC控制功率、质量流量控制等实现参数的精确控制和记录。
适合各种材质,例如高分子材料、陶瓷、金属等的表面处理。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
耐用
耐腐
☆主体采用不锈钢(304或316L)结构,气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
稳定
精确计量
安装便捷
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
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环保
半岛体
微电子工艺设备
医药
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精密浓度传感器工艺
特种材料学科
化学化工
食品保鲜
应用行业:半导体材料,电工陶瓷材料,电子元器件光电子,激光仪器,仪器仪表,光仪及配件,工业自动化装置,电子电工产品制造设备,电子电工产品设计加工等其他。
用于进行精密测量,具有精度高,稳定性好,可靠性高,安装简单,操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。