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莱峰流体
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LFIX系列气流控制系统由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成,它利用流动的流体不同的流量效应而制成,其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量,并分别控制各自气体的流量,进入混合器进行精密混合,将混合后的气体按需输出给用气点,同时设备自带多种测量原件对气体进行检测,保证混合的精确性。
特点
气流控制系统能准确可靠的测量和控制气体质量流量,测量和控制精度高、零飘小,测量和控制范围宽,测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响,为半导体设备提供氮气控制及氮气温度的控制测量,保证半导体设备能够正常运行。。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
耐用
耐腐
☆主体采用不锈钢(304或316L)结构,气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
稳定
精确计量
安装便捷
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
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医药
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化学化工
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应用行业:半导体材料,电工陶瓷材料,电子元器件光电子,激光仪器,仪器仪表,光仪及配件,工业自动化装置,电子电工产品制造设备,电子电工产品设计加工等其他。
用于进行精密测量,具有精度高,稳定性好,可靠性高,安装简单,操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。