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参考价:
具体成交价以合同协议为准
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测量对象 | 具体内容 | |
折射率 | 折射率测量范围 | 1.0 to 2.45 |
折射率精度 | 0.001 | |
折射率分辨率 | ±0.0005 | |
厚度 | 厚度测量范围 | 0.4㎛-20㎛ |
厚度精确度 | ±0.5% | |
厚度分辨率 | ±0.01㎛ | |
体材料 (仅测折射率) | 折射率精度 | 0.0005 |
折射率分辨率 | ±0.0001 | |
厚薄膜 | 厚度测量范围 | 2㎛-150㎛ |
液体 (仅测折射率) | 折射率测量范围 | 1.0 to 2.4 |
折射率精度 | ± 0.0005 | |
热光系数 | 温度测试范围 | 室温-150℃ |
波导损耗测量 | 测量限度 | below 0.05dB/cm |
薄膜类型 | 称底类型 | |
Silicon Nitride | Silicon | |
Silicon Dioxide | Silicon Oxynitride | GaAs |
Low-k films | Polymers | Quartz |
Polyimides | ITO | Glass |
Zinc Sulfide | Titanium Dioxide | Sapphire |
Sapphire | Epi Garnet | GGG |
Photoresists | Holographic Gels | Lithium Niobate |
薄膜类型和折射率 | 厚度和折射率一起测量 | 仅测量厚度 |
硅基上的二氧化硅(n=1.46) | 0.48-15mm | 0.20-0.48mm |
硅基上的光刻胶(n=1.63) | 0.42-15mm | 0.18-0.42mm |
二氧化硅上的光刻胶(n=1.63) | 0.70-15mm | 0.30-0.70mm |
硅基上的聚酰亚胺(n=1.72) | 0.38-15mm | 0.15-0.38mm |
二氧化硅上的聚酰亚胺(n=1.72) | 0.50-15mm | 0.16-0.50mm |
硅基上的氮氧化硅(n=1.80) | 0.35-15mm | 0.14-0.35mm |
二氧化硅上的氮氧化硅(n=1.80) | 0.45-15mm | 0.13-0.45mm |
硅基上的氮化硅(n=2.0) | 0.32-15mm | 0.12-0.32mm |
二氧化硅上的氮化硅(n=2.0) | 0.30-15mm | 0.15-0.30mm |