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ST2000系列 薄膜厚度测量仪

具体成交价以合同协议为准

2018-05-15
型号
ST2000系列
武汉维思特科技有限公司

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产品简介
产品说明本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中使用。
详细信息

 产品说明

本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。

这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为In-Line monitoring 仪器使用。

产品特性

1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。

2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。    

3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7) 可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ ) 

8) Table Top型, 适用于大学,研究室等

产品型号/规格 

The advantage of infinity - corrected optics Optics solve the problem of coma aberration by using a new tube lens

Stage Size 

150 x 120mm(70 x 50mm Travel Distance)

Measurement Range 

200Å~ 35μ m(Depends on Film Type)

Spot Size

20μm Typically 

Measurement Speed 

sec/site Typically 

Application Areas 

Polymers : PVA, PET, PP, PR ...

Dielectrics : SiO2, TiO2, ITO, ZrO2, Si3N4 ..

Semiconductors : Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS...

*Supporting up to 3 Layers

*Supporting Backside Reflection 

Head 

Trinocular Head 

Nosepiece

Quadruple Revolving Mechanism with Inward Tilt 

Total Magnification

40X ~ 500X 

Type of Illuminati 

12v 20W Halogen Lamp Built-in Control Device & Transform 

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