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通过高频感应加热产生大约1万度的热等离子体,经过物理/化学反应过程,能合成纳米颗粒及厚膜(镀膜)。
在大气压或者接近大气压的低气压环境下,将高频电源集中于局部,通过电磁感应使各种气体在瞬间变成1万度左右的超高温等离子体。
热等离子体属于电弧放电,往等离子体中充入原料(粉末、气体或液体),经过蒸发、熔融、分解、化学反应等,能进行纳米颗粒的合成、微细粉末的球化及反应、镀膜、有害气体的分解等。
与直流(DC)电弧放电相比能获得大容积的等离子体。
气体流速比直流(DC)等离子体相比要慢10倍,原料可以被充分地加热、反应。
由于没有电极,也就没有电极材料的污染,整个过程非常纯净。
具有氧化性、还原性、腐蚀性的各种气体都可以使用。
超出了机械粉粹的能力,能将颗粒微细化到纳米级。
由于能够利用等离子体中的原子、离子、激发态分子和自由基等高能量化学物种的反应,有望用来合成新物质、新材料。
高频振荡器
对高频感应等离子体负载具备适合的匹配电路及控制性能,能充分地应对异常放电,电源效率业界。
产品系列(额定输出功率):6kW型,35kW型,100kW型,200kW型
*300kW型也已经生产
等离子体炬
每个高频振荡器配有专用的等离子体炬。
能产生体高密度等离子的体炬直径及结构
两层冷却水管结构,内管使用陶瓷管,与石英管相比耐久性高
※ (已取得)、在低压~大气压状态下能长时间稳定地运行。
目前还在开发将直流 (DC) 和高频 (RF)结合的混合式等离子体炬,混合式具有以下特征:
将直流等离子体射流叠加在高频等离子体的上方,这样就会对高频等离子体有辅助作用。
制作纳米颗粒时,由于原料能用直流等离子体预热,可以进行高效率地蒸发(微细化)。
能根据用途和目的提供纳米颗粒合成装置、镀膜装置、试验用装置等。
*可以提供热等离子体发生器(成套设备)