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IB-19520CCP 截面样品制备装置

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2023-04-26广州市
型号
参数
品牌:其他品牌 产地:进口 加工定制:否
广州文明机电有限公司

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产品简介
IB-19520CCP 截面样品制备装置 IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。
详细信息

IB-19520CCP 截面样品制备装置  IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。

  • ★ 冷却的效果  样品:镀锌钢板

  • 可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。

  • Specimen: Galvanized iron steel


  • ※ 通常加工(无冷却)时,铁和锌的接合面上能够观察到间隙,而冷却加工时则没有间隙

  • ★ 使用温度控制系统(选配件)冷却  样品:硅晶片接合面

    Normal milling                              Cooling                              Cooling temperature control    
    (without cooling)                    (holder temperature -150℃)      (holder temperature -20℃) 
    Accelerating voltage 6kV          Accelerating voltage 6kV           Accelerating voltage 6kV


  • ※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形,出现了很大的间隙。 -150 ℃时,冷却过度,能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙,但通过温度控制冷却则没有间隙。

  • ★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备

  • ★ 进程监控功能

  • 截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。

  • ★ 防止充放电的喷镀功能

  • 备有离子束溅射功能(选配项)
    可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。
    适合于象EBSD等需要花样识别等情况。

  • ★ 平面离子减薄样品架

  • 以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。
    另外也非常适合于选择性蚀刻。

  • ★ 截面样品制备单元

  • 安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。
    可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。

离子加速电压2 ~ 8 kV
离子束直径500 um( FWHM)
研磨速率500 um(两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um)
样品架冷却达到的温度-120 ℃
样品冷却持续时间8小时以上
制冷箱容量约1升
承载样品的尺寸11mm(长) × 8mm(宽)× 3mm(厚)
样品台移动范围X轴:±6mm、Y轴:±2.5mm
固定样品方法夹式
样品加工摆角±30°
加工观察用相机的倍率约20~100倍(6.5寸显示器上)
机械泵: 150 mm(宽) × 427 mm(长) × 230 mm(高)、约16 kg
空气隔离系统转移舱
空气隔离法将舱内设定成氩气气氛,盖上转移舱盖子,将样品封在舱里。
操作方法触控屏、6.5寸显示器
使用气体氩气(用质量流量控制器控制流量)
压力测试潘宁真空计
主抽真空系统涡轮分子泵
辅助抽真空系统机械泵
尺寸、重量主机:约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg
机械泵:约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg
选配件大型旋转样品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 
基座样品架 (IB‐11560MBSH) 
大型样品架(IB-11570LSH)  
喷碳样品架(IB-12510CCH)
电源单相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地线独立地线(100 Ω以下)
氩气使用压力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm²)
纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)
金属配管连接口:JISB0203 RC1/4
室温15~25 ℃
湿度60%以下



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