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NRE-3000型RIE-PE刻蚀机

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2023-03-22国外
型号
参数
品牌:其他品牌 产地:进口 加工定制:是
那诺-马斯特中国有限公司

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该企业相似产品
薄膜沉积、生长、刻蚀、清洗,磁控溅射,ALD,PECVD,RIE,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD
产品简介
NRE-3000型RIE-PE刻蚀机:PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持Z大到12“的晶圆片。腔体为超净设计,真空泵可以达到10-6 Torr 或更小的极限真空。可以在20mTorr到8Torr之间的真空下工作。
详细信息

NRE-3000型RIE-PE刻蚀机概述:RIE刻蚀PE刻蚀台式一体机,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13"的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2"的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持至大到12"的晶圆片。腔体为超净设计,并且根据配套的真空泵可以达到10-6 Torr 或更小的极限真空。该系统系统可以在20mTorr到8Torr之间的真空下工作。真空泵组包含一个节流阀,一个250l/s的涡轮分子泵,滤网过滤器,以及一个10cfm的机械泵(带Formblin泵油).RF射频功率通过600W,13.56MHz的电源和自动调谐器提供。系统将持续监控直流自偏压,该自偏压可以高达-500V.这对于各向异性的刻蚀至关重要。


NRE-3000型RIE-PE刻蚀机是基于PC控制的全自动系统.系统真空压力及DC直流偏压将以图形格式实时显示,流量及功率则以数字形式实时显示.系统提供密码保护的四级访问功能:操作员级、工程师级、工艺人员级,以及维护人员级.允许半自动模式(工程师模式)、写程序模式(工艺模式), 和全自动执行程序模式(操作模式)运行系统。基于全自动的控制,该系统具有高度的可重复性。

产品特点:

  • 铝质腔体或不锈钢腔体

  • 具有各向同性刻蚀和各向异性刻蚀两种刻蚀能力

  • 不锈钢立柜

  • 能够刻蚀硅的化合物(~400? /min)以及金属

  • 典型的硅刻蚀速率,400 ?/min

  • 高达12"的阳极氧化铝RF样品台

  • 水冷及加热的RF样品台

  • 大的自偏压

  • 淋浴头气流分布

  • 极限真空5x10-7Torr,20分钟内可以达到10-6Torr级别

  • 涡轮分子泵

  • 至多支持4个MFC

  • 无绕曲气体管路

  • 自动下游压力控制

  • 终点监测

  • 气动升降顶盖

  • 手动上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 菜单驱动,4级密码访问保护

  • *的安全联锁

  • 可选ICP离子源以及低温冷却样品台,用于深硅刻蚀

产品型号:

  • NRE-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统,占地面积26“D x 44"W

  • NRE-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统,占地面积26“D x 26"W

  • NRE-3000:基于PC计算机全自动控制的台式系统,占地面积26“D x 26"W

  • NRP-4000:RIE/PECVD双系统

  • NDR-4000:深RIE刻蚀(深硅刻蚀)系统



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