$item.Name

首页>实验仪器>制样/消解设备>电子束刻蚀系统

参考价:

起订量:

  • 13
  • ≥1台
Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 电子束刻蚀系统

具体成交价以合同协议为准

2022-09-29上海
型号
参数
品牌:其他品牌 产地:进口 加工定制:是
上海伯东企业有限公司

免费会员 代理商

该企业相似产品
Pfeiffer氦质谱检漏仪
产品简介
上海伯东日本*适合中等规模量产使用的 Hakuto 离子刻蚀机, 样品台可选直接冷却 / 间接冷却
详细信息

上海伯东日本*适合中等规模量产使用的 Hakuto 离子刻蚀机, 样品台可选直接冷却 / 间接冷却

 

Hakuto 离子蚀刻机 IBE 主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C技术参数:

离子蚀刻机

φ4 inch X 6片

基板尺寸

< Ф3 inch X 8片
< Ф4 inch X 6片
< Ф8 inch X 1片

NS 离子刻蚀机 

可选

样品台

样品台可选直接冷却 / 间接冷却0-90度旋转

离子源

20cm 考夫曼离子源

均匀性

±5% for 8”Ф

硅片刻蚀率

20 nm/min

温度

<100

 

 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 组成:
NS 离子蚀刻机

 Hakuto 离子蚀刻机通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:

相关技术文章

同类产品推荐

企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618

产品参数

品牌 其他品牌
产地 进口
加工定制
提示

仪表网采购电话