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刻蚀设备PlasmaPro1000 Astrea 电子束刻蚀系统

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2022-09-29嘉兴市
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参数
产地:国产 加工定制:是
上海绘吉电子科技有限公司

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产品简介
刻蚀设备PlasmaPro1000 Astrea
新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蚀设备,该设备可以为PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蚀提供解决方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
详细信息

刻蚀设备PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蚀设备,该设备可以为PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蚀提供解决方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。

该设备可以批量刻蚀55 x 2” 到 3 x 8”的晶片,设备*的设计符合了HBLED材料严苛的化学要求。PlasmaPro1000 Astrea损耗低、产量高,以保证客户芯片的大光输出。

刻蚀设备PlasmaPro1000 Astrea该设备的高配置体现在,处理腔可作为独立模块或集群配置,也可升级为四面集群设备以支持三个生产模块。

为确保该设备高稼动率性和易维护性,它的主要特性和优势包括:

  • 行业*,可处理直径为690mm和高均匀性要求的等离子源。

  • 490mm的电极,可大批量处理55x2”, 14x4”, 7x6” 到3x8”尺寸的晶片

  • 高电导泵系统

  • 双进气口使制程调整更顺畅

  • 为晶片冷却提供大夹具

  • Z字型的移动方式确保晶片的均匀性

  • 硬件稳定和易于维护,确保正常运行时间

  • 上海绘吉电子科技有限公司主要代理欧、美、日及国内*科学仪器、工业质检仪器及相关消耗品,专业涉及高校、新能源、钢铁行业、科研研究及轻工化工、在国内特别是华东地区具有广泛的客户基础和良好的商业信誉。经过几年的发展,绘吉公司已经在同行业中确立了多方面的好的地位,无论在公司规模、人员素质、经营品种、销售能力和售后服务等各方面获得了同行及用户的广泛认可。 上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪,真空系列等分析类设备),电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。

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产地 国产
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