气体质量流量计 SFM5400

适用于多种应用的多功能流量计

SFM5400质量流量计具有的精度（误差＜1%）、可重复性和长期稳定性，宽动态测量范围。SFM5400由金属制成，且高度可配置。它采用多种机械连接和电气接口，可测量50 sccm和200 slm之间的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成数字、*校准和温度补偿的信号。多个气体校准可以存储在一个器件中。此外，流量计可以检查激活的气体校准是否与实际存在气体相匹配。SFM5400的通用性使它成为工业和医疗应用的理想解决方案。

SFM5400质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术，它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料，实现了一个持久稳定、快速和高精度的质量流量计。

SFM5400质量流量计是SFC5400质量流量控制器的无阀门版本。SFC5400质量流量控制器与质量流量计具有相同的性能特性，并适用于类似的应用，这两个产品可以结合在一起。在SFC5400 网站，你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。

性能参数

高精度、低流量（< 1 sccm）
优良的精度/可重复性（分别为测量值的0.8% / 0.1%）
宽动态范围（量程比1000:1）
多气体和气体识别
数字和模拟接口
柔性机械连接选项：down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
高度可配置
MTBF169年-无需再校准

应用

分析仪器（如气相色谱、质谱、热分析）
科研（如、）
工业过程自动化（如涂覆、热处理）
半导体产业（如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积）

下载中心

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