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气体质量流量计 SFM5300

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2021-12-17
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差压式流量传感器
产品简介
气体质量流量计SFM5300适用于大批量成本敏感的OEM项目SFM5300质量流量计具有的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围,尺寸紧凑
详细信息

气体质量流量计 SFM5300

适用于大批量成本敏感的OEM项目

SFM5300质量流量计具有的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围,尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。

SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的CMOSens® 技术,它在一个CMOS硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料,其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。

SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量控制器的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性,并适用于在类似的应用,这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站,你可以找到关于质量流量控制器的进一步信息和详细规格。


性能参数

  • 低流量的高精确度(< 1 sccm)
  • 优良的精度/可重复性(分别为测量值的2% / 0.2%)
  • 宽动态范围(量程比1000:1)
  • 尺寸紧凑(downmount安装连接)
  • 多气体和气体识别
  • 数字接口
  • 高度可配置
  • MTBF 169年-无需再校准

应用

  • 分析仪器(如气相色谱、质谱、热分析)
  • 科研(如、)
  • 工业过程自动化(如涂覆、热处理)
  • 半导体产业(如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积)

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