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v厂家简介 |
德国OEG公司成立于1991年,设计制造光学测量和半导体测量仪器,产品属于高精密仪器,设计紧凑操作简单,。深受广大科研用户的认可。 产品包括: Ø 金刚石切片机 Ø 晶圆平整度测量、曲率、应力测量 Ø 光学测量平台 Ø 电子准直镜 Ø 线宽、特征尺寸测量仪 Ø 接触角、表面张力、表面自由能测量仪 Ø MTF测量仪 |
v晶圆平整度曲率应力测量仪—Flatscan光学 |
光学非接触表面测量仪,能进行大范围2D/3D测量,可测量晶圆应力(薄膜应力),表面半径曲率和斜坡。 FLATSCAN适用于任意种类反射表面的:平整度、波纹度和弯曲(弓/翘曲)及表面轮廓的非接触式自动2D或3D测量,并通过软件计算其薄膜应力,如硅晶圆、镜面、X射线反射镜(多层膜反射镜/Goebel镜)、金属表面、抛光的聚合物等等。 |
v测量原理 |
表面轮廓: 垂直于样品表面的入射光,经过表面反射后形成的反射角,会因表面轮廓的不同而产生变化。FLATSCAN正是依据测量点之间反射角的变化,通过软件重新计算并构建了样品表面轮廓,实现了全自动高精度的测量。 薄膜应力: 对于薄膜、单层或者多层镀膜的应力,软件主要依据Fowkes的理论,通过检测镀膜前后,基板曲率半径的变化量计算得到。比如在半导体行业或者其他应用领域,当反射表面被加工处理后(镀膜或者去镀膜),操作人员能够利用FLATSCAN快速地对晶圆薄膜应力进行检测。 |
v应用 |
FLATSCAN适用于任意种类反射表面的,平整度、波纹度和弯曲(弓/翘曲)的非接触式测量,如硅晶圆、镜面、X射线反射镜(多层膜反射镜/Goebel镜)、金属表面、抛光的聚合物等。 |
v产品特性 |
Ø 高测量精度。 Ø 非接触式测量。 Ø 3D/2D可选。 Ø 近似任意大小的可测量面积。 Ø 可以检测更高的弯曲度。 Ø 适用于较大面积样品的测量。 Ø 适用于高弯曲表面,如X射线反射镜(多层膜反射镜)、硅晶圆等。 |
v产品参数 |
1. 光学扫描系统 |
1.1非接触式激光光源测量。 1.2具有自动测量晶圆的曲率,轮廓和薄膜应力功能。 1.3具有3D/2D可选的应力测量模式。 1.4光学系统可测量标准直径200mm、300mm的晶圆及需求的更大的视野。 1.5轮廓测量重复精度100nm。 1.6扫描速度为10mm/s-30mm/s。 1.7光学系统曲率分辨率0.1arcsec,精度1arcsec。 |
2. 样品台 |
2.1样品台具有X,Y,Phi轴自动位移功能,并可以在软件系统中控制和调节。 2.2具有自动调平功能。 |
3. 数据采集和记录系统 |
具有方便易用的软件系统,具有方便易用的软件系统,具有友好的用户界面; 软件系统可以采集并记录镀膜前后的表面轮廓和曲率数据,并可以根据镀膜前后; 数据计算薄膜材料的应力分布和翘曲度; 软件可以读出镀膜前后的晶圆曲率半径,显示三维形貌。 |