一、台式匀胶机旋涂仪产品简介

WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由苏州汶颢微流控技术股份有限公司独立开发完成，具有独立知识产权。

匀胶机快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。采用全触摸屏控制，三档转速。在启动之后先在低速下进行匀胶，之后切换至高速下进行甩胶，转速及相应的时间分别可调；实现启停可控，转速实时观察等功能。仪器配置“安全开关”按钮，当进行高速运转时，关上上盖后，“安全开关”启动，运行过程中，上盖不能打开。可以起到保护作用。

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二、台式匀胶机旋涂仪技术参数

1.转速：硅片4英寸（含）以内300-8500RPM；4-6英寸（含）以内300-6000RPM；

2.时间控制：1-32767s；

3.转速稳定性：±1%；

4.胶的均匀性：±3%；

5.参数设定：触摸屏设置参数；

6.适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶；

7.电源输入：AC220V±10V，50HZ；

8.功率：60W；

9.重量：13kg；

10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；

11.工作环境：温度0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %。

三、台式匀胶机旋涂仪特征图解

①防撞垫②匀胶托盘③触摸屏④吸附盘⑤观察窗⑥盖板 ⑦抽气孔⑧电源插口及开关

四、台式匀胶机旋涂仪操作说明

（1）选择合适的吸附盘（略小于样本尺寸），将缺口对准螺钉安装，吸附盘安装时一定要插入到底。

（2）开启电源，进入参数设置页面。可分别设置三个阶段转速和时间，按工艺设置好转速和时间，点击“确定”。

（3）进入启动仪器界面，放片，要注意放正。打开真空泵，点击“吸盘”后点“启动”，仪器开始运行。转速和运行阶段以及当前阶段剩余时间可在显示屏上实时观察。

（4）滴胶，动作要快。在阶段运转时间内滴胶完毕，关上上盖；随时间推移自动运行第二和第三阶段。关上上盖后，安全开关启动，必须等到仪器停止运行，上盖才能被打开。

（5）电机停转后，点击脱盘，吸片停止。打开上盖，取下片子。

（6）继续匀胶时重复以上步骤。

（8）匀胶结束后，关上上盖，切断电源。

五、台式匀胶机旋涂仪维护清洗

属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗

1.正常使用半个月的；

2.胶被吸入抽气室的；

3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。

六、台式匀胶机旋涂仪常见故障排除

下列故障非本机故障，用户可参考自行解决，若仍不能排除故障，请及时本公司：

七、台式匀胶机旋涂仪安全注意事项

拆开包装后，请按照装箱单详细检查配件，如有缺失，请联系销售商。注意必须将所有包装和泡沫垫卸下，否则有可能因热量不易散发或受到其它外界因素的影响引起火灾。

操作前请详细阅读本说明全部内容，并严格按照要求依次进行操作。若用户因不规范操作或违规操作而导致的人身伤害事故、仪器损害、财产损失，制造商将不予承担。

(1) 安置本仪器的桌（台）面应坚实平整，四只橡胶脚垫应与桌（台）面平稳接触，否则会产生仪器不平稳，从而导致超标准的震动，致使器件损伤或仪器停止运行。

(2) 仪器工作时，操作人员不得倚靠在仪器上，非工作人员不得在非安全空间内逗留，匀胶机周围不得放置危险物品。

(3) 所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室，导致气路堵塞。

(4) 如果不慎胶被吸入了抽气室，要立刻进行清洗，否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。

(5) 气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片，故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住。

(6) 仪器出现故障应及时与销售商或厂家联系，切勿自行打开机壳。严禁非专业人员维修，维修时必须先拔下电源插头，防止事故发生。

八、台式匀胶机旋涂仪装箱清单

无油真空泵技术参数无油真空泵：又称干式真空泵，是泵的工作腔内没有任何介质，可以原汁原味的回收气体。

? 型号：AP-550V 

? 抽速：1.5 升/秒 

? 功率：320W 

? 噪音：58db 

? 电压、频率：~220V/50HZ 

? *真空度：-700mmHg 

? 重量：5.8kg 

? 外形尺寸：240×130×200mm