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CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
具体成交价以合同协议为准
2021-01-05
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产品简介
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。
详细信息
CAD导航系统 故障分析导航系统 (NASFA)
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当CAD系统中的坐标位置，样品台就会通过链接移动到相应位置，就可以获得相应位置的SIM图像。同时，CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此，很容易检查到下层布线的状态，实质上提高了分析的效率，有利于进一步进行修理工作。
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- 场发射扫描电子显微镜 (FE-SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM/STEM)
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