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俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统又称俄歇电子能谱AES及低能电子衍射LEED样品表面深度分析系统。基于俄歇电子能谱AES、低能电子衍射LEED、及氩离子溅射深度分布的分析系统,完成对薄膜及合金的元素组成和深度分布的分析。 非接触式测量薄膜及合金元素组成。 带样品预抽真空室 (load-lock腔室)。 特性: -对原子结构,元素组成和厚度分析达到“亚纳米级”精度 -大范围样品分析 -半自动化操作
俄歇电子能谱及低能电子衍射分析系统系统特性 俄歇电子能谱AES分析器 分析器型号-延迟型区域分析器,自带同轴电子枪 能量分辨率:<5% 工作距离 10mm 检测器: 1e7至1e8增幅范围的电子倍增器通道 安装法兰-4.5英寸O.D.标准CF法兰(NW63CF) 电子枪: 型号 :带可调焦距和束斑直径的双静电透镜 束流电压:0-3KV 束流电流:大50uA 束流直径:大800um 灯丝:钨灯丝 磁罩:带前置保护壳的Mu罩 深度离子溅射枪 离子源 在磁场内电子冲击形成离子 离子化阴极 钨-铼灯丝 直接安装于70mmO.D.CF法兰 束流电流:大10 uA 束流能量:0-3keV 束流尺寸;直径范围5至25mm 束流均匀度:<5% 气体输入:经过泄漏阀气体直接输入至离子源 安装法兰:23/4英寸(70mm)O.D.CF法兰 样品传递操作 样品尺寸:尺寸从10mm-20mm 样品置入:单个样品置入 样品传输:线型磁动样品传输臂 真空系统 腔体:100mm焊接超高真空腔体(304不锈钢) 真空泵:60L/sec离子泵和50l/sec的分子泵,配备匹配的前级泵 真空规:宽量程真空规 真空兼容:超高真空材料 烘烤:真空下可烘烤至250度 -