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X射线光电子能谱分析仪(XPS)解决方案

来源: 西安夏溪电子科技有限公司

2022/4/8 15:43:40 1038

测试原理:

XPS的原理是用X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量,以光电子的动能/束缚能(binding energyEb=hv光能量-Ek动能-w功函数)为横坐标,相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。

 

1.  测试项目:全谱,精细谱,价带谱,XPS深度刻蚀、微区XPS

2.  样品要求:(需提供样品含有的元素,包括氧)

块状和薄膜样品,需标记好测试面(表面平整,样品干燥),长宽小于10mm,高度小于3mm(建议尺寸小于5×5×2mm,大尺寸样品需确认);(块体/薄膜样品表面请用乙醇擦拭干净或抽真空来样,接触空气容易受CNOSi等元素污染) 

粉末样品,不少于10mg(样品需干燥)

磁性样品可测试,需在测试前沟通。

XPS深度刻蚀需提供:提供详细测试过程,刻蚀要求。如刻蚀能量、刻蚀次数、单次刻蚀时间等要求,如2kV能量,速率0.1nm/s,单次刻蚀300s后,总计刻蚀4次,采集刻蚀前、后的谱图;

微区XPS需提供:测试区域200~300um100~200um50~100um10~50um

3.  应用范围:用于各种有机和无机固体材料的表面元素和其价态的定性,定量分析,可用于腐蚀,摩擦,浸润,粘接,催化,包覆,氧化等表面和界面过程的研究。

定性:元素种类及价态信息(可以分析除HHe以外的所有元素)

定量:半定量,属于表面灵敏型测试

成像:元素XPS二维成像

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