PHI710扫描俄歇纳米探针1 . 使用CMA同轴分析器，同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情 况下，都可轻松的进行分析 2.以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析，AES空间分辨率可达~8nm 3.在保有所有CMA的优点同时，并加上了获得AVS (美国真空协会）设计奖的高能量分 辨率功能，可以AES进行各种纳米级区域的化学态分析 4.Windows兼容软件

PHI710扫描俄歇纳米探针一同轴筒镜分析仪 (CMA:Cylindrica l Mirror Analyzer) 同轴CMA是PHI公司在其电子光谱仪的中心轴上放置电子枪。CMA能*360度收集产生的俄歇电子，因此具有不受样品形貌和倾角影响的 优点。图3显示同轴CMA和非同轴谱仪SCA的灵敏度特点。CMA从垂直 入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点，角度依赖性低，从而采用各种 入射角度，分析各种形貌的样品均可得到优异的定量结果。

比较分析形态复杂的样本 图4比较CMA和SCA所采集的铜锡球SEM成像，以及俄歇成分像， SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显，而CMA所获得的SEM像和俄歇 成分像可准确地反映真实结果。

俄歇分析通过SEM观察确定分析位置，再进行采谱，成分分布成像和深度 剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑，同时进行俄歇分析，需要非 常稳定的电子束。 SEM成像分辨率可达3纳米左右，AES710使用低噪声电源（图1). 采用 隔音罩以减小振动、声音、和温度的影晌，AES分析时分辨率可达到8nm (20 kV 1 nA). 图2案例：球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。 从左图所示：二次电子像，Ca (蓝色） Mg(绿色） Ti (红色）俄歇成分 像，以及S的俄歇成分分布像，表明了AES纳米级微区的化学分析能力。