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PSVL30-100U-S 压电纳米级精密定位台-电子/半导体检测仪器

具体成交价以合同协议为准

2018-04-23上海市
型号
PSVL30-100U-S
参数
产地:国产 加工定制:是
上海纳动纳米位移技术有限公司

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该企业相似产品
压电陶瓷,压电纳米定位台,压电促动器,压电驱动,红外扫描台,中空式压电平台,压电陶瓷片,压电纤维片,压电点胶阀控制器,压电偏转镜,压电物镜聚焦平台
产品简介
压电纳米级精密定位台采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,确保了平台的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且*通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
详细信息

   压电纳米级精密定位台采用压电陶瓷驱动的扫描台,平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,补偿量小,确保了平台的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且*通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。

压电纳米级精密定位台应用领域

◆表面结构分析;

◆自动对焦系统;

◆共焦显微镜;

◆扫描干涉仪;

主要特点

◆高于行业标准3倍速度:<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制;600Hz的响应频率;20N/μm的刚度

◆装备双传感器技术:在不同的负载下无需重新校准;*的机械带宽;

◆的ZSY纳米传感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的线性度;0.005%的剩余磁滞;

◆免工具安装适配器;

◆超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性;

技术数据:

型号

Model No.

PSVL36-100U-S

Axes

Z

伺服特性

Servo

SG

行程范围

Travel range

(@120V)

闭环

Closed loop

80μm

开环

Open loop

80μm

分辨率

Resolution

5nm

重复定位精度

Repeatability

0.05%F.S.

线性度

Linearity

0.2%

俯仰/偏航/滚动

Pitching/Yawing/Rolling

1” / 2” / 1”

承载能力

Load capacity

12N

谐振频率

Resonant frequency

0g

300Hz

刚度

Stiffness

0.3N/μm

静电容量

Capacitance

1.6μF

线缆长度

Cable length

1.5m

尺寸(LxH)

Dimensions

36*36*20mm

重量

Weight

80g

本体材质

Body material

钢/铝(B)

Steel/Aluminum

表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[(W)White alumite /(B)Black alumite ]

 

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产品参数

产地 国产
加工定制
提示

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