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精密定位压电陶瓷纳米台具有很小的尺寸,其系统可提供行程为39μm,和纳米级的分辨率,它们非常适合用于定位与动态扫描任务,如光学路径长度校正干涉,样品定位、显微镜或扫描应用。
精密定位压电陶瓷纳米台批发价格主要特点
◆高于行业标准3倍速度:<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制;600Hz的响应频率;20N/μm的刚度
◆装备双传感器技术:在不同的负载下无需重新校准;*的机械带宽;
◆的ZSY纳米传感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的线性度;0.005%的剩余磁滞;
◆免工具安装适配器;
◆超级不胀钢结构设计获得*的聚焦稳定性;
型号 Model No. | PSVL36-100U-S | ||
轴 Axes | Z | ||
伺服特性 Servo | SG | ||
行程范围 Travel range (@120V) | 闭环 Closed loop | 80μm | |
开环 Open loop | 80μm | ||
分辨率 Resolution | 5nm | ||
重复定位精度 Repeatability | 0.05%F.S. | ||
线性度 Linearity | 0.2% | ||
俯仰/偏航/滚动 Pitching/Yawing/Rolling | 1” / 2” / 1” | ||
承载能力 Load capacity | 12N | ||
谐振频率 Resonant frequency | 0g | 300Hz | |
刚度 Stiffness | 0.3N/μm | ||
静电容量 Capacitance | 1.6μF | ||
线缆长度 Cable length | 1.5m | ||
尺寸(LxH) Dimensions | 36*36*20mm | ||
重量 Weight | 80g | ||
本体材质 Body material | 钢/铝(B) Steel/Aluminum |
表面处理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[(W)White alumite /(B)Black alumite ]
应用领域
◆表面结构分析;
◆自动对焦系统;
◆共焦显微镜;
◆扫描干涉仪;