《X射线荧光镀层测厚仪校准规范》等3项计量技术规范征求意见
- 2023/9/27 13:41:55 24168
- 来源：仪表网
【仪表网 行业标准】根据国家市场监督管理总局下达的国家计量技术规范制修订计划，全国几何量长度计量技术委员会已完成《球板校准规范》《回转轴线测角转台校准规范》和《X射线荧光镀层测厚仪校准规范》3项计量技术规范的征求意见稿。为了使国家计量技术规范能广泛适用和更具可操作性，特向全国有关单位及专家公开征求意见和建议。意见反馈邮箱：mtc2@nim. ac. cn，截止时间2023年11月10日前。
《球板校准规范》
球板是一种多尺寸标准器，由多个标准球镶嵌在平板上构成。利用球形要素构成的各种尺寸，可用于坐标测量机的期间核查和误差参数分析。光学三维扫描仪在工业制造领域应用日益广泛，其示值误差通常也采用球板进行评价。
中国计量科学研究院建立的一维二维多尺寸标准器校准装置([ 2012 ]国量标证字第254号)，多年来开展步距规、球棒和球板的校准工作，为用户开展溯源服务，其中步距规和球棒已发布了正式的校准规范，球板的校准依据仍是自编校准规范，有待立项完成。
目前国内外还没有球板相关的规程规范，通过本规范的制定，可以规范球板的计量特性，为用户提供规范化的使用方法，促进先进制造业的发展。
JJF 1001《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1《测量不确定度评定与表示》、JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件。
依据JJF 1071《国家计量校准规范编写规则》，本规范在组织架构上包括：范围；引用文件；术语；计量特性；校准条件；校准项目和校准方法；校准结果的表达；复校周期以及附录等内容。
本规范为首次发布。本规范适用于具有规则阵列和特殊排列结构的球板标准器的首次校准、后续校准和使用中检查。利用圆孔要素构成的标准器可参考本规范进行校准。
《回转轴线测角转台校准规范》
回转轴线测角转台是一种集成角度反射镜的精密伺服定位转台。包括可360°旋转的角度反射镜、转轴、主体及底座。回转轴线测角转台工作时，测角转台底座与被测回转轴线连接，转轴带动角度反射镜旋转某一固定角度，该角度作为与被测回转轴线旋转角度的比较基准参与完成被测回转轴角位置误差测量。角度反射镜与激光干涉仪、角度干涉镜配合使用，可以完成水平、竖直、倾斜、摆动等多种姿态回转轴线的角位置误差测量。
JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列文件。
依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》，本规范在组织架构上包括：范围；引用文件；术语和定义；概述；计量特性；通用技术要求；校准条件；校准项目和校准方法；校准结果表达；复校时间间隔以及附录等内容。
本规范为首次发布。本规范规定了回转轴线测角转台的计量特性、校准条件、校准项目和校准方法等。本规范主要适用于配合激光干涉仪组合使用的回转轴线测角转台的校准。
《X射线荧光镀层测厚仪校准规范》
随着我国半导体、电子、通信行业的快速发展，许多产品都提出了对镀层厚度进行精确控制的要求，大部分电子制造加工企业均配备了镀层分析测量设备。这种广泛使用的镀层厚度测量仪器一种基于X射线荧光分析技术的比较式测量仪器，为使其测量方法和量值传递统一，在2011年首次制定和实施了此类台式仪器的国家校准规范：JJF1306-2011X射线荧光镀层测厚仪校准规范。
近十年来，半导体及微电子技术的快速发展，特别是我国高铁、电力通讯的迅猛发展，为满足现场测量需要，大力推动了手持式X射线荧光分析仪的产品研发和市场应用，相比台式仪器，测量原理相同，主要优点包括体积小、携带方便、使用简单、性价比高，导致每年的市场销售数量远远超过了台式仪器。
自JJF1306-2011校准规范发布实施以来，经过国内计量校准部门的实际应用和反馈，总体上，具有较好的实用性和可操作性，其量值传递和溯源技术方法是科学可行的，基本满足国内此类仪器的量值溯源的需求，但也有需要完善和改进之处：原规范中规定的校准方法有一定局限性，镀层标准块的不确定度要求不太合理，同时镀层厚度标准块都只适合于台式镀层测量仪，不适用于当今应用普遍的手持式测量仪器。
为使该规范更好的适应新技术、新产品的快速发展，需要对规范中相关内容进行增补和修订，同时对原规范中不合理的部分内容进行完善和修订，满足工业生产制造及计量检测机构对镀层厚度测量仪器量值溯源和量值统一的需求。
本规范在原有JJF1306-2011中X射线荧光镀层测厚仪校准规范的基础上，主体框架内容与格式不变，保留原来的计量特性要求，修改和增加内容包括：
1. 行为格式规范化及描述完善性编辑修改；
2. 适用范围增加了手持便携式仪器；
3. 概述中增加了手持便携式的外观示意图；
4. 校准方法的完善：
4.1测量重复性：考虑到测量范围内不同区段的有较大变化，测量点由原来的1个增加至3个；
4.2 示值稳定性：保持不变；
4.3示值误差：基于能量色散方法的X射线荧光镀层测厚仪，同一种镀层厚度测量范围内表现出非明显线性误差以及不同镀层材料厚度测量误差差异大，因此，示值误差校准点由原来比较灵活的“1至5个”修改为“3个以上”，校准的镀层材料由一种修改为至少3种。
因是自动测量，为提高可靠性，单点测量次数由原来的3次改为10次。
5. 规范了附录C中厚度标准块的技术特性描述及规定
因厚度标准块(片)精度是以测量不确定度大小来区分，因此取消级别划分，修改为等别划分；
为更加合理表征厚度标准块的不确定度，以0.1mm为分界点，按厚度范围进一步区分测量不确定度大小。对应于示值误差校准结果不确定度分析时，当厚度不超过0.1mm，扩展不确定度采用绝对值来表征，当厚度大于0.1mm，采用相对扩展不确定度来表示；
6. 增加了附录D，用于对手持编写式仪器的标准块技术特性描述和要求；
7. 增加了手持式仪器的重复性和示值误差实验验证数据。
8.修改完善了附录A不确定度分析。
本规范适用于台式和手持便携式X射线荧光镀层测厚仪的校准。
全部评论