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参考价:
具体成交价以合同协议为准

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| 等离子体电流 | 0-30 mA |
| 功率 | 30W |
| 辉光放电头极性 | 正极负极可续 |
| 样品台 | Ø75mm,可存放25 x 75mm玻片 |
| 样品台高度 | 1-25 mm可调 |
| 处理延迟时间 | 0-14411 sec. |
| 处理时间 | 0-900 sec. |
| 样品室大小 | Ø120 x 100mm 高 |
| 进气孔 | 2 个Ø6 mm 进气孔 |
| 高压真空联锁 | 硬件,软件双重联锁 |
| 真空控制 | Pirani 规控制, 真空范围:大气压~0.01 mbar |
| 工作真空范围 | 1.1 - 0.20 mbar |
| 系统显示 | 具有LED灯光的3" 触摸,并且有5个功能键 |
| 操作模式 | 自动编程 (可编4个用户程序) |
| 尺寸 | 305 长 x 292 宽 x 230mm 高 |
| 重量 | 6.26 kg |
| GD4真空泵(可选) | 337 长 x 138 宽 x 244mm 高 |
| 重量 | 11 kg |
| 真空泵性能 | 2.5 m3/hr, 极限真空0.03 mbar |
| 电源要求 | 230V 50Hz, 10A |