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MTM-20 高分辨膜厚测控仪

具体成交价以合同协议为准

2026-06-13广州市
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产品简介
高分辨率膜厚测控仪的原理是:石英晶振片的振动频率随其表面所沉积膜的质量不同而变化
详细信息

高分辨率膜厚测控仪的原理是:石英晶振片的振动频率随其表面所沉积膜的质量不同而变化。根据这一特性,可以通过测量石英晶振片的振动频率变化,以计算出沉积膜的质量多少。再通过已知的膜密度和面积,而最终精确计算出所沉积膜的厚度。

性能参数:

膜厚范围:

0.0 - 999.9nm

:

0.1nm

密度范围:

0.50 - 30.00g/cm³

修正因子:

0.25 - 8.0

存储功能:

可存储4组密度和修正因子数据

镀膜控制:

可根据所设定的膜厚要求自动终止镀膜过程

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