免费会员 其他
参考价:
具体成交价以合同协议为准

免费会员 其他
高分辨率膜厚测控仪的原理是:石英晶振片的振动频率随其表面所沉积膜的质量不同而变化。根据这一特性,可以通过测量石英晶振片的振动频率变化,以计算出沉积膜的质量多少。再通过已知的膜密度和面积,而最终精确计算出所沉积膜的厚度。
性能参数:
| 膜厚范围: | 0.0 - 999.9nm |
| 分 辨 率: | 0.1nm |
| 密度范围: | 0.50 - |
| 修正因子: | 0.25 - 8.0 |
| 存储功能: | 可存储4组密度和修正因子数据 |