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纳米级分辨率;
适用于柔软和敏感的物体表面测量(镜面和光滑表面);
坚固耐用,使用寿命长;
振动分析;
传感器可进行自动对焦.
对于轮廓测定来说,NLS13自动对焦传感器是一种非常优越的测量解决方案,具有的保真度,可靠的测量结果,适应广泛的应用,包括柔软或敏感表面。适用于厚膜测量和混合动力汽车,光学,通信,电子工程,电子行业材料试验等领域;摩擦学,机械工程(平整度,波纹度,粗糙度)和IC封装(翘曲,共面,凸块高度和体积)等。
传感器 | NLS13纳米级位移计 |
量程mm | 1.5 |
分辨率 nm | 10 |
线性度 | ≤ 0.2um |
重复性nm | ≤ 10 |
测量间隙mm | 2.0 |
光源卤素灯W | 780nm半导体激光二极管 |
光斑直径µm | 1.9um |
测量垂直度º | 90±25 |
响应Hz | 16~10K |
输出 | 数据接RS232 |
重量g | 探头约5000,控制器约4000 |
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
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