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DP-Cx

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2023-10-19深圳市
型号
深圳真尚有科技有限公司

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产品简介
数字压电转换器(DP)是一个压电转换设备,具有很高的线性度和非常的重复性,量程70μm,最小15um,延迟小于1nm。普通压电转换器是非线性的,而且表现出滞后和不稳定的现象。为了克服这些不足之处,每个DP转换器都会内置一个位置传感器。这种传感器的输出控制电压消除滞后、非线性和输出不稳定的情况。每个DP转换器都会提供一个校准曲线,它可以作为一个基础,用于修正非常微小的非线性误差。 位置检测电......
详细信息
- 主要特点-
  • 外壳材料用不胀钢和微晶玻璃;

  • 15、35、70um的移动距离;

  • 分辨率高达纳米级;

  • 1ms响应时间;

  • 安装方便简洁;

  • 特别适用于OEM应用;

-应用领域-

扫描显微探针;

硬盘磁头测试;

近场扫描光学显微镜;

精密工程……

- 技术规格-

参数

符号

单位

备注

静态参数

4~20mA(500Ω阻抗)或0~10V

型号

S

M

L

材料

不胀钢和微晶玻璃

长度

42.2±0.3

76.7±0.3

127.8±0.3

mm

直径

20±0.15

mm

净重(不包含电缆和接头)

70

110

170

g

线缆长度

2040±40

mm

*移动范围

dxp·max

>15

>35

>70

μm

负荷

5

5

5

Kg

动态参数

工作温度

+10~+50

储存温度

0~+70

相对湿度

5~95(无冷凝)

%

工作压力

-VAC

10-3~10-5

t

-UVAC

10-3~10-9

t

响应时间

txs·s

1

4.3

25

ms

*位置噪音(1δ

δXp·n

1(使用低噪声控制器为0.5)

nm

误差

*磁滞

δxp·hyst

≤1

nm

*线性度

δxp·lin

≤0.1

≤0.15

≤0.15

%

重复性

≤1

nm

注意:

这些参数由各转换器实测并提供的。

DP在Z轴方向能承受的负载。

②、真实位置噪声。

③、满量程的相对误差。

- 测量原理-

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