免费会员 经销商
参考价：
-
- 面议
实验级蒸镀机EV400A
具体成交价以合同协议为准
2023-07-13合肥市
- 型号
该企业相似产品
智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉
产品简介
实验级蒸镀机EV400A
详细信息
| 基本信息 | ||
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 基板尺寸 | 100x100mm/25x25mm | 根据基板定制 |
| 旋转速率 | 0-30 rpm |
|
| 基板高度调节 | 0-150mm |
|
| 设备整体尺寸 | 4600x620x2300mm |
|
| 蒸发舟数量 | 10个 |
|
| 低温蒸发源 | 5-20cc @400℃ |
|
| 高温蒸发源 | 5-40cc @1400℃ |
|
| 前级泵 | 20000L/min 干泵 | 可选配 |
| 主泵 | 1700 L/s 分子泵 | 可选配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
|
本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料，满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认，并可满足两种材料共蒸。
相关技术文章
