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实验级蒸镀机EV200
具体成交价以合同协议为准
2023-07-13合肥市
- 型号
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产品简介
实验级蒸镀机EV200
详细信息
| 基本信息 | ||
| 项目 | 参数 | 备注 |
| 基板尺寸 | 100x100mm/25x25mm | 根据基板定制 |
| 旋转速率 | 0-30 rpm |
|
| 基板高度调节 | 0-150mm |
|
| 设备整体尺寸 | 760x620x2100mm |
|
| 蒸发舟数量 | 6个 |
|
| 低温蒸发源 | 5-10cc @400℃ |
|
| 高温蒸发源 | 5-10cc @1200℃ |
|
| 前级泵 | 6.2 m3/h 干泵 | 可选配 |
| 主泵 | 260 L/s 分子泵 | 可选配 |
| 本底真空度 | 9E-7 Torr |
|
本系统可满足工艺过程验证有机及金属材料，满足研究过程中对于材料真空蒸镀的初期性能参数确认，并可满足两种材料共蒸。
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