技术参数：

分辨率：1.5nm@15kV (二次电子）

              3nm@20kV （背散射电子）

放大倍数：15x-500,000x

加速电压：0-30kV连续可调

电子枪：Schottky场发射电子枪

高精度五轴样品台：

移动：X≤80mm，Y≤60mm，Z≤50mm

旋转：360° 连续

倾斜：-5°～ 90°

载入样品：直径175mm，高度70mm

舱内尺寸：直径230mm x 高227mm

具有防碰撞报警及停止功能

探测器：

二次电子探测器

半导体高性能四分割背散射探测器

CCD红外高清样品舱监视器

真空系统：

两个离子泵、一个分子泵、一个机械泵

集成式减震平台

自动功能：

聚焦、亮度/对比度、消像散、动态聚焦、电子束对中等

高性能电子光学透镜系统

物镜光阑：

三个物镜光阑可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

测样鉴赏：

                              癌细胞                                                 滤网                                            20万倍碳喷金

                   低压1kV10万倍碳喷金               金属纤维                     高分子材料

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