主要参数

外形尺寸

420(L)×330(D)×335(H) mm

操作界面

7 英寸触摸屏、全数字显示

蒸发源

高纯碳纤维（φ0.8mm）

蒸发源数量

4 根

蒸发模式

连续蒸发、脉冲蒸发

工作模式

全自动、手动

预热除气

有

除气挡板

全自动

真空泵

旋片式真空泵

真空泵抽速

1.1L/s

真空室

高硅硼玻璃 ~φ170×130mm

极限真空

≤1Pa

样品台

≥φ90mm

工作真空

≤2Pa

样品台旋转

手动或自动

样品台转速

高速、低速两档可调

供电

AC220V/50Hz

额定功率

800W

蒸发源状态

系统上电后自动检测 4 根蒸发源通断情况，并在主界面显示

保护功能

真空保护、过流保护、过压保护等

其它

真空、电流、电压可实时曲线 显示

选配

分子泵（高真空模式）、膜厚监测、温度检测等