全自动直流离子溅射仪为扫描电镜用户在制样过程中提供了更广泛的选择，以便适用支持扫描电子显微镜所需的涂层要求。在结构设计及人机界面方面更加注重人性，简单智能。对于SEM样品常规适用黄金溅射，GVC-1000提供了一个低成本的解决方案，同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。同时通过智能的人机界面精确、简单、方便控制仪器，同时具有估算镀层厚度，实时显示真空度，溅射电流。设定溅射时间。以及靶材的剩余情况。

      GVC-1000离子溅射仪是专用于扫描电镜（SEM）的样品喷金仪器,能够极为有效的提供样品的导电性及导热性,确保恒沉积速率,减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤.显著提供扫描电镜观测结果。

15s喷金效果图                                   30s喷金效果图　   　         　     60s喷金效果图

金颗粒分布的均匀性和颗粒大小，通过场发射扫描电镜观测，不同时间内金颗粒分布非常均匀，颗粒度在10-20nm之间

溅射技术

    离子溅射仪在电子显微镜领域内，往往需要对样品进行表面镀膜从而使样品表面成像或者图像质量得到改善。在样品表面覆盖一层导电的金属薄膜可以消除荷电反应，降低电子束对样品表面的热量损伤，可以提高SEM对样品进行形貌观察,所需要的二次电子信号量。

系统特点：

○ 仪器采用微处理器控制，自动化程度高、精确控制、易于操作；

○ 5英寸彩色触摸屏，可实时显示真空度、溅射电流、设定溅射时间、剩余溅射时间、膜厚估算等；

○ 可溅射金、银、铜、铂等常用靶材；

○ 实时显示设备运行时间、靶材使用时间，方便了解设备情况；

○ 内置过流、真空保护，在溅射电流过高或真空较差时自动中断，安全可靠；

○ 高灵敏度微调阀，可精确控制气体流量；

○ 靶材组件采取翻盖式设计，操作简洁、方便；

○ 内置用户使用向导和说明书，方便用户操作。

指 标 参 数：

          外形尺寸： 424× 290×2 65 (mm）    工作电压： 200-240VAC 50H z

溅射电压： DC2400V                            控制模式： 微处理器控制

功率： 500W                                   溅射电流： ≤30 mA

溅射时间： ≤600s                                 极限真空 ： 0.1Pa

工作真空： ≤30Pa                                 膜层厚度： 内置膜厚估算（金靶）

真空测量： 电阻规   　　　　    　　  真空 速 率： ＜2L /s