孚光精仪公司品牌源于早期的东欧地区和德国进口光学材料和仪器的进口服务。公司创始股东们足迹遍布捷克,爱沙尼亚,罗马尼亚,白俄罗斯,立陶宛,法国,英国,意大利,奥地利,丹麦,比利时,以及德国 汉堡,法兰克福,柏林,慕尼黑,纽伦堡,德累斯顿等科技强国和强市,对整个欧洲特别是东欧和德国的技术产品和精密仪器的质量有可靠的把握。长期以来,德国在科学研究、技术创新和仪器研发领域具有的优势。德国的科学仪器以技术*,质量可靠而著称。孚光精仪早期专注于选择德国和东欧国家可靠的供应商,为用户提供了道质量保障。公司派送员工前往原厂进行技术培训,从而具备为远东地区用户提供快速高效的技术服务能力,这一举措深得用户和制造商的高度赞誉。因此,孚光精仪的事业在服务客户的同时获得超常发展,快速成长为*仪器的规模型供应商和技术服务商。目前,孚光精仪已经把产品原产地扩展到整个欧洲和美国,形成了以欧洲和美国为供货来源地的良好局面。
产品简介
等离子体增强原子层沉积系统采用更大的腔室和等离子ALD模块,获得更好的原子层沉积效果
详细信息
等离子体增强原子层沉积系统采用更大的腔室和等离子ALD模块,获得更好的原子层沉积效果。
等离子体增强原子层沉积系统特点
腔室圆柱形和工程设计的流型均匀性。
适用于多种不同的基板和沉积材料。
出于安全目的,在分离的区域进行前体、泵送、捕集和控制。
用户友好且易于访问所有组件
等离子体增强原子层沉积系统规格参数
不锈钢腔室
具有4-8条不同前体(冷和热)管线的前体进料系统
配备快速气动阀的前体进料系统。
多段温度控制:前体、加热夹套,范围0-200ºC,分辨率1ºC腔室,范围0-300ºC,分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口,范围0-150ºC,分辨率1ºC。
基本压力为10-1/10-3毫巴。
工具尺寸,1000x600x1000mm。
带触摸屏的控制系统:
系统状态信息:气体流量、温度、压力和阀门。
过程监控:压力和温度。偏差警报和安全锁。
配方处理和实时监控。
自动盖和人体工程学设计。视觉和声音警报。